000 00288nam a22001337a 4500
008 181029b xxu||||| |||| 00| 0 eng d
020 _a9780387095103
041 _aeng
080 _a371
100 _a46
101 _aEDU
245 _aIntroductory MEMS
_cAdams, Th.M
942 _2udc
_cBK
999 _c51027
_d51027