000 00284nam a22001337a 4500
008 170524b xxu||||| |||| 00| 0 eng d
020 _a978013992047
041 _aeng
080 _a621
100 _a26
101 _aIM
245 _aFOUNDATIONS OF MEMS
_cLIU, CH
942 _2udc
_cBK
999 _c14110
_d14110